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在真空的世界里，也有一對不離不棄的“超級情侶”。我們習慣稱這對超級伴侶為前級真空泵和高真空泵。前級泵必須滿足特定的抽氣速度和極限真空，并且可以持續(xù)的無故障長時間運行，高真空泵極限真空極高，只有分子泵才能有此能力。前級泵和分子泵相生相伴，在電子顯微鏡、質(zhì)譜以及領(lǐng)域做出了的貢獻，推動了科學儀器行業(yè)的飛速發(fā)展。
為什么分子泵和前級泵是天作之合？分子泵需要配置前級泵, 而不是直接在大氣壓下工作. 我們都知道渦輪分子泵必須在分子流狀態(tài)下工作才能顯示出它的優(yōu)越性。分子泵輸送氣體應(yīng)滿足兩個必要條件：1渦輪分子泵必須在分子流狀態(tài)下工作；2分子泵的轉(zhuǎn)子葉片必須具有與氣體分子速度相近的線速度。具有這樣的高速度才能使氣體分子與動葉片相碰撞后改變隨機散射的特性而作定向運動。分子泵的轉(zhuǎn)速越高，對提高分子泵的抽速越有利；
在純粹渦輪分子泵的情況下, 由于其分子流,需要的前級真空大約為為 5～10^-2mbar。所以需要前級泵來預(yù)抽，如果不預(yù)抽的話,直接啟動分子泵, 由于形成的壓縮比太大容易把分子泵葉片損壞，這就是為什么分子泵需要前級泵的主要原因。
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隨著真空泵使用范圍越來越廣，了解其相關(guān)參數(shù)對于之后的生產(chǎn)工作的展開十分重要。1、抽氣速率(體積流率)：當泵裝有標準試驗罩并按規(guī)定條件工作時，從試驗罩流過的氣體流量與在試驗罩上位置測得的平衡壓力之比。簡稱泵的抽速。即在一定的壓力、溫度下，真空泵在單位時間內(nèi)從被抽容器中抽走的氣體體積。
極限壓力(極限真空)：泵裝有標準試驗罩并按規(guī)定條件工作，在不引入氣體正常工作的情況下，趨向穩(wěn)定的比較低壓力。即真空泵的入口端經(jīng)過充分抽氣后所能達到的比較低的穩(wěn)定的壓力。 3、起動壓力： 泵無損壞起動并有抽氣作用的壓力 4、前級壓力： 排氣壓力低于一個大氣壓力的真空泵的出口壓力。 5、比較大前級壓力： 超過了能使泵損壞的前級壓力。
比較大工作壓力：對應(yīng)比較大抽氣量的入口壓力。在此壓力下，泵能連續(xù)工作而不惡化或損壞。 抽氣量： 流經(jīng)泵入口的氣體流量。 壓縮比： 泵對給定氣體的出口壓力與入口壓力之比。分子真空泵主要是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把動量傳輸給氣體分子，使氣體分子獲得定向運動的速度，從而被壓縮、被驅(qū)向排氣口后為前級抽走的一種真空泵牽引分子真空泵，氣體分子與高速運動的轉(zhuǎn)子相碰撞而獲得動量，被驅(qū)送到泵的出口。
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近日，真空推出了一款新型渦輪分子泵，便是對此交出的一份答卷。這款分子泵的壽命更長，而且采用了該公司開發(fā)的一項技術(shù)，使得真空設(shè)備更加耐用，振動水平更低，噪音更小。真空的渦輪分子泵.具體來講，通過分配幾何確定的動平衡孔和漸近的動平衡配重法，利用激光燒蝕把多余的材料去除，如此一來，轉(zhuǎn)子的不均勻質(zhì)量分布能夠在所有點位逐個進行的處理，來達到很佳的動平衡性。
與傳統(tǒng)動平衡相比，用激光去除材料要準確得多，剩余不平衡會更低。而且在這個過程中，材料特性并不會受到影響?？梢哉f，改變了傳統(tǒng)的動平衡過程，將不均勻的質(zhì)量分布降到了很低。采用傳統(tǒng)動平衡（左）和采用激光燒蝕段的激光動平衡（右）動平衡等級對比.據(jù)了解，通過現(xiàn)代化的自動平衡系統(tǒng)，渦輪分子泵轉(zhuǎn)子的動平衡品質(zhì)提高了20%，從而大幅提高轉(zhuǎn)子壽命，并降低泵在運行期間的振動和噪音水平。
值得一提的是，激光燒蝕產(chǎn)生的顆粒，在加工過程中即可抽出和過濾掉，隨后對激光平衡后的轉(zhuǎn)子進行清潔，由于無需手動擰緊螺絲，所以確保了表面的很高清潔度，并且也避免了平衡孔中的氣穴造成的虛漏現(xiàn)象。因此，用技術(shù)加持的渦輪分子泵可以滿足更為苛刻的工作環(huán)境要求，尤其是在需要更低振動和靜音的應(yīng)用中，該系列渦輪分子泵可以大大提升用戶體驗。
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